Laser-Planar-Interferometer

Das Laser-Planar-Interferometer (LPI-100) ist mit seiner dynamischen Echtzeit-Messgeschwindigkeit von bis zu 15 Bildern pro Sekunde in der Lage, die Oberflächenform planarer optischer Elemente innerhalb einer 100-mm-Apertur in Echtzeit zu erkennen. Der Strahl, der die Oberflächenforminformationen des gemessenen Elements trägt, wird durch ein speziell codiertes Gitter gebeugt, das die Wellenfront seitlich in vier Teile schert und so ein zweidimensionales Interferenzmuster mit gemeinsamer Pfadscherung und vier Wellenfronten bildet. Durch Demodulation der zweidimensionalen Interferenz können Informationen zur Oberflächenform des Elements erhalten werden.

Artikelspezifikation:

Merkmal des BOJIONG Laser-Planar-Interferometers

◆Bis zu 15 Bilder dynamischer Echtzeitmessung

◆2 nm RMS Hohe Phasenauflösung

◆Superhohe Auflösung von 262144 Phasenpunkten

◆Kann eine dynamische Erkennung in Echtzeit realisieren und eine dynamische Erkennung von 15 Bildern/Sekunde erreichen

◆Mit unabhängigen Rechten an geistigem Eigentum, kostengünstig, einfache Anpassung, kompakte Struktur

◆Basierend auf dem Prinzip der Selbstinterferenz des gemeinsamen Kanals benötigt das Gerät keinen Referenzspiegel und verfügt über eine starke Widerstandsfähigkeit. In der normalen Fabrikumgebung kann auch eine genaue Erkennung flacher Oberflächen erreicht werden

Anwendung des BOJIONG Laser Planar Interferometers

Dieses BOJIONGLaser-Planarinterferometer ist mit interferometrischen FIS4-Vierwellensensoren ausgestattet, um die standardmäßige planare Spiegelform zu erkennen. Die Verarbeitungssoftware gibt den PV-Wert, den RMS-Wert und den POWER-Wert der Oberfläche der getesteten Komponente aus.

Details zum BOJIONG Laser-Planar-Interferometer

Gesamtlayoutdiagramm des BOJIONG Planar Four-Wave Dynamic Interferometer

Die Funktionsmodule des BOJIONG-Laserplanarinterferometers können in ein Beleuchtungslichtquellenmodul, ein Sekundärstrahlaufweitungsmodul, ein Trägermodul, ein Punktfokussierungsmodul zur Unterstützung bei der Einstellung der Probenlage und ein interferometrisches Sensormodul zur Erkennung der Probenoberflächenform unterteilt werden .

Das Lichtquellenmodul des Systems verwendet einen Gas-Helium-Neonlaser mit einer zentralen Wellenlänge von 632,8 nm.

Das sekundäre Strahlerweiterungsmodul erweitert die Strahlgröße auf 100 mm und erfüllt damit die Anforderungen für die Erkennung großer Durchmesser.

Der Tischabschnitt dient zur Platzierung planarer optischer Komponenten, die getestet werden sollen, wie z. B. flache Kristalle, Single-Throw-Wafer, Fensterchips, planare Reflektoren usw. Der Ladetisch ist mit Handrädern zur Bewegung in X- und Y-Richtung ausgestattet, um die Bewegung der Probe zu steuern so dass der vom Gerät emittierte Lichtfleck die Oberfläche des Prüflings vollständig abdeckt. Gleichzeitig sind auf dem Tisch zwei Knöpfe angebracht, um die Neigungshaltung der Probe anzupassen. Durch Einstellen dieser Knöpfe wird die Testebene senkrecht zur optischen Achse ausgerichtet.

Das Bildgebungssystem verfügt über ein Doppelkamerasystem. Einer von ihnen nutzt eine optische Bildkamera, um ein Punktfokussierungsmodul zu bilden, das die Anpassung der Probenhaltung unterstützt. Durch Beobachtung der Rückkehrpunktposition der Probe in Echtzeit wird die Probenhaltung angepasst, um die Messgenauigkeit sicherzustellen. Der andere Pfad ist mit dem interferometrischen Vierwellensensor FIS4 ausgestattet, der ein interferometrisches Sensormodul zur Erkennung der Probenoberflächenform bildet. Durch die Aufzeichnung interferometrischer Streifen mit gemeinsamem Pfad kann eine Echtzeitrückmeldung dreidimensionaler Informationen auf der Oberfläche der Testprobe erreicht werden. Das Dual-Kamerasystem kann gleichzeitig arbeiten.

Professionelles Softwaremodul

◆Ausgestattet mit der Software „Laser Planar Interferometer“ kann es Echtzeit-3D-Bilder der gemessenen optischen Elementebene anzeigen und ausgeben sowie PV-Werte, RMS-Werte und POWER-Werte der gemessenen Oberfläche ausgeben.

◆Gleichzeitig unterstützt die Software den Export von Rohdaten der Messergebnisse, stellt quantitative Erkennungsdatenunterstützung für verschiedene Studien bereit und erleichtert Benutzern die Durchführung von Datenanalysen und Forschungen in der Zukunft.