FIS4 Vierwellen-Interferometersensorwird von einem Team von Professoren der Zhejiang-Universität und der Nanyang Technological University, Singapur, entwickelt. Es verfügt über inländische Patenttechnologie, kombiniert Beugung und Interferenz, realisiert Vierwellen-Lateralscherinterferenz mit gemeinsamem Pfad, verfügt über eine hervorragende Erkennungsempfindlichkeit und Vibrationsbeständigkeit und kann eine dynamische Hochgeschwindigkeits-Interferometermessung in Echtzeit ohne Vibrationsisolierung erreichen; Die Bildrate der Echtzeit-Messanzeige erreicht mehr als 10 Bilder. Gleichzeitig verfügt der FIS4-Sensor über eine ultrahohe Phasenauflösung von 512 x 512 (260.000 Phasenpunkte), das Messband deckt 200 nm bis 15 μm ab, die Messempfindlichkeit erreicht 2 nm und die Messwiederholgenauigkeit ist besser als 1/1000 λ ( RMS). Es kann für die Analyse der Laserstrahlqualität, die Erkennung von Plasmaströmungsfeldern, die Echtzeitmessung der Verteilung von Hochgeschwindigkeitsströmungsfeldern, die Bewertung der Bildqualität optischer Systeme, die mikroskopische Konturmessung und die quantitative Phasenbildgebung biologischer Zellen usw. verwendet werden.
FIS4 Interferenzsensor einzelnStrahleninterferenz optischer Weg
Das Funktionsprinzip des Vierwellen-Interferenzsensors besteht darin, dass die zu erfassende Wellenfront durch ein zufällig codiertes Hybridgitter gebeugt wird und vier gebeugte Lichter in zwei orthogonalen Richtungen erzeugt werden. Diese vier gebeugten Lichtstrahlen interferieren auf der Abbildungsoberfläche, und es können vier Wellenfront-Querscherinterferenzstreifen erhalten werden.
Vorteile des Vierwellen-Interferenzsensors: Die Interferenz mit einem optischen Pfad hat eine extrem hohe Vibrationsfestigkeit, es ist kein Referenzlicht erforderlich, einfaches Layout, kein spezielles Interferenzgerät erforderlich, schnelle und einfache Einstellung, Echtzeitbildgebung ist möglich, keine Phasenverschiebung Der Prozess ist erforderlich und eignet sich besonders für die hochpräzise Erkennung in Fabrikumgebungen.
