Dieser Ultraviolett-Wellenfrontanalysator mit einer Auflösung von 512 x 512 Pixeln (262.144 Phasenpunkte) ist in der Lage, Interferenzmessungen in der hinteren Brennebene durchzuführen. Die Technologie erfordert einen niedrigen Kohärenzpegel der Lichtquelle und macht eine Phasenverschiebung überflüssig. Mit dem Ultraviolett-Bildgebungssystem kann das Gerät Wellenfrontmessungen in Echtzeit durchführen. Es verfügt über eine außergewöhnliche Vibrationsfestigkeit und Stabilität und ermöglicht eine Messgenauigkeit im Nanometerbereich, ohne dass Vibrationsisolationseinrichtungen erforderlich sind.
|
Produktname |
Ultravioletter Wellenfrontanalysator |
|
Wellenlängenbereich |
200 nm ~ 450 nm |
|
Zielgröße |
13,3 mm × 13,3 mm |
|
Räumliche Auflösung |
26μm |
|
Abtastauflösung |
512×512 (262144 Pixel) |
|
Phasenauflösung |
<2nmRMS |
|
Absolute Genauigkeit |
10 nmRMS |
|
Dynamikbereich |
90 μm (256 Min.) |
|
Abtastrate |
32fps |
|
Verarbeitungsgeschwindigkeit in Echtzeit |
10 Hz (volle Auflösung) |
|
Schnittstellentyp |
USB3.0 |
|
Dimension |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
|
Gewicht |
ca. 240g |
◆2 nm RMS hohe Phasenauflösung
◆UV-Spektrum 200 nm bis 450 nm Band
◆Ultrahohe Auflösung von 512×512 (262144) Phasenpunkten
◆Einkanalige Lichtselbstinterferenz, kein Referenzlicht erforderlich
◆Extrem starke Antivibrationsleistung, keine Notwendigkeit einer optischen Vibrationsisolierung
◆Genau wie bei der Bildgebung, einfacher und schneller Aufbau des optischen Pfades
◆Unterstützt kollimierte Strahlen und nicht kollimierte Strahlen mit hoher NA
Dieser BOJIONG Ultraviolett-Wellenfrontanalysator wird für die Aberrationsmessung optischer Systeme, die Kalibrierung optischer Systeme, die Messung flacher (Wafer-)Oberflächenformen, die Messung optischer sphärischer Oberflächenformen usw. verwendet.
|
Laserstrahl-Wellenfronterkennung |
Wellenfronterkennungsreaktion des Zernike-Modus der adaptiven Optik |
|
Beispiel für die Aberrationsmessung eines optischen Systems |
Beispiele für Kalibrierungsmessungen optischer Systeme |
|
Beispiel für die Messung der Waferoberflächenrauheit |
Messung der Mikroätzmorphologie – Defektprobe 1 # -114 Linien |
BOJIONG Ultraviolett-Wellenfront-Analysator wurde von einem Team von Professoren der Zhejiang-Universität und der Nanyang Technological University in Singapur entwickelt. Mit inländischer patentierter Technologie kombiniert er Beugung und Interferenz, um eine gemeinsame Vierwellen-Transversalscherinterferenz mit überlegener Erkennungsempfindlichkeit und Antivibrationsleistung zu erzielen und kann dynamische Echtzeit- und Hochgeschwindigkeitsinterferometrie ohne Vibrationsisolierung realisieren. Die Echtzeitmessung zeigt eine Bildrate von mehr als 10 Bildern. Gleichzeitig verfügt der FIS4-Sensor über eine ultrahohe Phasenauflösung von 512 x 512 (260.000 Phasenpunkte), das Messband deckt 200 nm bis 15 μm ab, die Messempfindlichkeit erreicht 2 nm und die Messwiederholgenauigkeit ist besser als 1/1000 λ ( RMS). Es kann zur Analyse der Laserstrahlqualität, zur Erkennung von Plasmaströmungsfeldern, zur Echtzeitmessung der Verteilung von Hochgeschwindigkeitsströmungsfeldern, zur Bewertung der Bildqualität optischer Systeme, zur mikroskopischen Profilmessung und zur quantitativen Phasenbildgebung biologischer Zellen verwendet werden.
Adresse
Nr. 578 Yingkou Road, Bezirk Yangpu, Shanghai, China
Tel
