Der Ultraviolett-Wellenfrontsensor zeichnet sich durch eine hohe Phasenauflösung von 2 NM RMS und eine extrem hohe Vibrationsfestigkeit aus. Es verfügt außerdem über eine Auflösung von 512 x 512 Pixel (262.144 Phasenpunkte) und ist in der Lage, Interferenzmessungen in der hinteren Brennebene durchzuführen. Die Technologie erfordert eine geringe Kohärenz der Lichtquelle und macht eine Phasenverschiebung überflüssig. Mit dem Ultraviolett-Bildgebungssystem ist das Gerät in der Lage, Wellenfrontmessungen in Echtzeit durchzuführen.
|
Produktname |
Ultravioletter Wellenfrontsensor |
|
Wellenlängenbereich |
200 nm ~ 450 nm |
|
Zielgröße |
13,3 mm × 13,3 mm |
|
Räumliche Auflösung |
26μm |
|
Abtastauflösung |
512×512 (262144 Pixel) |
|
Phasenauflösung |
<2nmRMS |
|
Absolute Genauigkeit |
10 nmRMS |
|
Dynamikbereich |
90 μm (256 Min.) |
|
Abtastrate |
32fps |
|
Verarbeitungsgeschwindigkeit in Echtzeit |
10 Hz (volle Auflösung) |
|
Schnittstellentyp |
USB3.0 |
|
Dimension |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
|
Gewicht |
ca. 240g |
◆UV-Spektrum 200 nm bis 450 nm Band
◆Ultrahohe Auflösung von 512×512 (262144) Phasenpunkten
◆Einkanalige Lichtselbstinterferenz, kein Referenzlicht erforderlich
◆2 nm RMS hohe Phasenauflösung
◆Genau wie bei der Bildgebung, einfacher und schneller Aufbau des optischen Pfades
◆Unterstützt kollimierte Strahlen und nicht kollimierte Strahlen mit hoher NA
◆Extrem starke Antivibrationsleistung, keine Notwendigkeit einer optischen Vibrationsisolierung
Dieser UV-Wellenfrontsensor von BOJIONG wird zur Aberrationsmessung des optischen Systems, zur Kalibrierung des optischen Systems, zur Messung der Form flacher (Wafer-)Oberflächen, zur Messung der Form optischer sphärischer Oberflächen usw. verwendet.
|
Laserstrahl-Wellenfronterkennung |
Wellenfronterkennungsreaktion des Zernike-Modus der adaptiven Optik |
|
Beispiel für die Aberrationsmessung eines optischen Systems
|
Beispiele für Kalibrierungsmessungen optischer Systeme
|
|
Beispiel für die Messung der Waferoberflächenrauheit
|
Messung der Mikroätzmorphologie – Defektprobe 1 # -114 Linien |
Der BOJIONG Ultraviolett-Wellenfrontsensor wurde von einem Team von Professoren der Zhejiang-Universität und der Nanyang Technological University in Singapur entwickelt und kombiniert Beugung und Interferenz mit inländischer patentierter Technologie, um eine gemeinsame Vierwellen-Transversal-Scherinterferenz mit überlegener Erkennungsempfindlichkeit und Antivibrationsleistung zu erreichen und kann dynamische Echtzeit- und Hochgeschwindigkeitsinterferometrie ohne Vibrationsisolierung realisieren. Die Echtzeitmessung zeigt eine Bildrate von mehr als 10 Bildern. Gleichzeitig verfügt der FIS4-Sensor über eine ultrahohe Phasenauflösung von 512 x 512 (260.000 Phasenpunkte), das Messband deckt 200 nm bis 15 μm ab, die Messempfindlichkeit erreicht 2 nm und die Messwiederholgenauigkeit ist besser als 1/1000 λ ( RMS). Es kann zur Analyse der Laserstrahlqualität, zur Erkennung von Plasmaströmungsfeldern, zur Echtzeitmessung der Verteilung von Hochgeschwindigkeitsströmungsfeldern, zur Bewertung der Bildqualität optischer Systeme, zur mikroskopischen Profilmessung und zur quantitativen Phasenbildgebung biologischer Zellen verwendet werden.
Adresse
Nr. 578 Yingkou Road, Bezirk Yangpu, Shanghai, China
Tel
