Bojiong (Shanghai) Precision Machinery Technology Co., Ltd
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Ultravioletter Wellenfrontsensor
  • Ultravioletter WellenfrontsensorUltravioletter Wellenfrontsensor

Ultravioletter Wellenfrontsensor

Für die Wellenfronterkennung planarer Waferoberflächenformen im Wellenlängenbereich von 200 Nanometer bis 450 Nanometer hat BOJIONG den Ultraviolet Wavefront Sensor eingeführt. Da es sich der Single-Path-Selbstinterferenztechnologie bedient, ist kein Referenzstrahl erforderlich. Unsere Produkte und Dienstleistungen werden in großem Umfang in Bereichen wie der optischen Fertigung, der Luft- und Raumfahrt, der Biomedizin und der Energieforschung eingesetzt. Wir erweitern kontinuierlich unsere Produktionskapazität, verbessern unsere technischen Fähigkeiten und haben einen robusten betrieblichen Rahmen für das Unternehmen geschaffen.


Der Ultraviolett-Wellenfrontsensor zeichnet sich durch eine hohe Phasenauflösung von 2 NM RMS und eine extrem hohe Vibrationsfestigkeit aus. Es verfügt außerdem über eine Auflösung von 512 x 512 Pixel (262.144 Phasenpunkte) und ist in der Lage, Interferenzmessungen in der hinteren Brennebene durchzuführen. Die Technologie erfordert eine geringe Kohärenz der Lichtquelle und macht eine Phasenverschiebung überflüssig. Mit dem Ultraviolett-Bildgebungssystem ist das Gerät in der Lage, Wellenfrontmessungen in Echtzeit durchzuführen.

 

Artikelspezifikation:

 

Produktname

Ultravioletter Wellenfrontsensor

Wellenlängenbereich

200 nm ~ 450 nm

Zielgröße

13,3 mm × 13,3 mm

Räumliche Auflösung

26μm

Abtastauflösung

512×512 (262144 Pixel)

Phasenauflösung

<2nmRMS

Absolute Genauigkeit

10 nmRMS

Dynamikbereich

90 μm (256 Min.)

Abtastrate

32fps

Verarbeitungsgeschwindigkeit in Echtzeit

10 Hz (volle Auflösung)

Oberflächentyp

USB3.0

Abmessungen

70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm

Gewicht

ca. 240g


Merkmal des BOJIONG-Ultraviolettwellenfrontsensors

 

 


◆UV-Spektrum 200 nm ~ 450 nm Band

◆Ultrahohe Auflösung von 512×512 (262144) Phasenpunkten

◆Einkanalige Lichtselbstinterferenz, kein Referenzlicht erforderlich

◆2 nm RMS hohe Phasenauflösung

◆Genau wie bei der Bildgebung, einfacher und schneller Aufbau des optischen Pfades

◆Unterstützt kollimierte Strahlen und nicht kollimierte Strahlen mit hoher NA

◆Extrem starke Antivibrationsleistung, keine Notwendigkeit einer optischen Vibrationsisolierung


 Anwendung des BOJIONG-Ultraviolettwellenfrontsensors


Dieser UV-Wellenfrontsensor von BOJIONG wird zur Aberrationsmessung des optischen Systems, zur Kalibrierung des optischen Systems, zur Messung der Form flacher (Wafer-)Oberflächen, zur Messung der Form optischer sphärischer Oberflächen usw. verwendet.


Laserstrahl-Wellenfronterkennung

Wellenfronterkennungsreaktion des Zernike-Modus der adaptiven Optik

Beispiel für die Aberrationsmessung eines optischen Systems

 

Beispiele für Kalibrierungsmessungen optischer Systeme

 

Beispiel für die Messung der Waferoberflächenrauheit

 

Messung der Mikroätzmorphologie – Defektprobe 1 # -114 Linien


Details zum BOJIONG-Ultraviolettwellenfrontsensor


Der BOJIONG Ultraviolett-Wellenfrontsensor wurde von einem Team von Professoren der Zhejiang-Universität und der Nanyang Technological University in Singapur entwickelt und kombiniert Beugung und Interferenz mit inländischer patentierter Technologie, um eine gemeinsame Vierwellen-Transversal-Scherinterferenz mit überlegener Erkennungsempfindlichkeit und Antivibrationsleistung zu erreichen und kann dynamische Echtzeit- und Hochgeschwindigkeitsinterferometrie ohne Vibrationsisolierung realisieren. Die Echtzeitmessung zeigt eine Bildrate von mehr als 10 Bildern. Gleichzeitig verfügt der FIS4-Sensor über eine ultrahohe Phasenauflösung von 512 x 512 (260.000 Phasenpunkte), das Messband deckt 200 nm bis 15 μm ab, die Messempfindlichkeit erreicht 2 nm und die Messwiederholgenauigkeit ist besser als 1/1000 λ ( RMS). Es kann zur Analyse der Laserstrahlqualität, zur Erkennung von Plasmaströmungsfeldern, zur Echtzeitmessung der Verteilung von Hochgeschwindigkeitsströmungsfeldern, zur Bewertung der Bildqualität optischer Systeme, zur mikroskopischen Profilmessung und zur quantitativen Phasenbildgebung biologischer Zellen verwendet werden.

 

FIS4 Technische Parameter jeder Produktserie

 

Produkt

FIS4-UV

FIS4-HR

FIS4-UHR

FIS4-HS

FIS4-Zelle

FIS4-NIR

Wellenlängenbereich

200–450 nm

400–1100 nm

400–1100 nm

400–1100 nm

400–1100 nm

900–1200 nm

Zielgröße mm2

13,3×13,3

7,07×7,07

13,3×13,3

10,24×10,24

7,07×7,07

13,3×13,3

Räumliche Auflösung

26μm

23,6μm

26μm

24,4 μm

23,6μm

26μm

Bildpixel

-

2048×2048

-

-

2048×2048

-

Auflösung der Phasenausgabe

512×512

(262144 Pixel)

300×300 (90000 Pixel)

512×512 (262144 Pixel)

420×420 (176400 Pixel)

300×300 (90000 Pixel)

512×512 (262144 Pixel)

Phasenauflösung

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

Absolute Genauigkeit

10 nmRMS

10 nmRMS

15 nmRMS

10 nmRMS

10 nmRMS

15 nmRMS

Dynamikbereich

90μm

(256 Min.)

110μm

(150 Min.)

162μm

(256 Min.)

132μm

(210 Min.)

110μm

(150 Min.)

270μm

(256 Min.)

Abtastrate

32fps

24fps

45fps

107fps

24fps

45fps

Verarbeitungsgeschwindigkeit in Echtzeit

10Hz

(Komplettlösung)

10Hz

(Komplettlösung)

10Hz

(Komplettlösung)

10Hz

(Volle Auflösung) Unterstützt verzögerte Stapelverarbeitung

10Hz

(Komplettlösung)

10Hz

(Komplettlösung)

Oberflächentyp

USB3.0

HACKEN

USB3.0

HACKEN

HACKEN

USB3.0

Externe Schnittstelle

-

-

-

-

C-Anschluss

-

Größe mm2

70x46,5x68,5

56,5x43x41,5

70x46,5x68,5

56,5x43x41,5

56,5x43x41,5

70x46,5x68,5

Gewicht

ca. 240g

ca. 120g

ca. 240g

ca. 120g

ca. 120g

ca. 240g

 


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