Bojiong (Shanghai) Precision Machinery Technology Co., Ltd
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Ultraschneller Wellenfrontsensor
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Ultraschneller Wellenfrontsensor

Als Pionier auf dem Gebiet der optischen Erkennungstechnologie engagiert sich Bojiong seit vielen Jahren intensiv im Bereich der Wellenfrontsensoren und hat den Ultrahochgeschwindigkeits-Wellenfrontsensor auf den Markt gebracht, um den Kundenanforderungen gerecht zu werden. Mit fundiertem Fachwissen und einem tiefen Technologieverständnis bieten wir fortschrittliche Lösungen zur Messung von Wellenfrontinterferenzen für Schlüsselbereiche wie die optische Fertigung, Luft- und Raumfahrt, biomedizinische Forschung und Energieforschung.


Bei Strömungsfeld- und Windkanaltests besteht Bedarf an Ultrahochgeschwindigkeits-Detektionsgeräten. Bojiong hat den Ultra High Speed ​​Wavefront Sensor vorgestellt. Dieses Gerät zeichnet sich durch extrem hohe Vibrationsfestigkeit, ultrahohe Stabilität und ultraschnelle Bildgebungsfähigkeiten aus und ermöglicht Präzisionsmessungen im Nanobereich, ohne dass eine Vibrationsisolierung erforderlich ist. Es stellt geringe Anforderungen an die Kohärenz der Lichtquelle und erfordert keine Phasenverschiebung. Interferometrische Messungen können mit herkömmlichen bildgebenden Systemen durchgeführt werden.

 

Artikelspezifikation:

 

Produktname

Ultraschneller Wellenfrontsensor

Wellenlängenbereich

400 nm ~ 1100 nm

Zielgröße

10,24 mm × 10,24 mm

Räumliche Auflösung

24,4 μm

Abtastauflösung

420×420 (176400 Pixel)

Phasenauflösung

<2nmRMS

Absolute Genauigkeit

10 nmRMS

Dynamikbereich

132 μm (210 λ)

Abtastrate

107fps

Verarbeitungsgeschwindigkeit in Echtzeit

10 Hz (volle Auflösung)

Oberflächentyp

Unterstützt verzögerte Stapelverarbeitung

Abmessungen

HACKEN

Gewicht

56,5 mm × 43 mm × 41,5 mm

Wellenlängenbereich

ca. 120g

 

Merkmal des BOJIONG Ultra-Hochgeschwindigkeits-Wellenfrontsensors

 

 

 

◆Ultrahohe Auflösung von 420×420 (176400) Phasenpunkten

◆2 nm RMS hohe Phasenauflösung

◆Sampling-Bildrate bis zu 107 fps

◆Einkanalige Lichtselbstinterferenz, kein Referenzlicht erforderlich

◆Breites Spektrum im 400-nm-1100-nm-Band

◆Extrem starke Antivibrationsleistung, keine Notwendigkeit einer optischen Vibrationsisolierung

◆Genau wie bei der Bildgebung, einfacher und schneller Aufbau des optischen Pfades

◆Unterstützt kollimierte Strahlen und große NA-konvergierte Strahlen

 

 Anwendung des BOJIONG Ultra-Hochgeschwindigkeits-Wellenfrontsensors

 

Dieser BOJIONG-Ultrahochgeschwindigkeits-Wellenfrontsensor wird zur Erkennung der Waferoberflächenrauheit, zur Messung der Mikromorphologie von Silizium- und Glassubstraten, zur aerodynamischen Optik, zum Hochgeschwindigkeitsströmungsfeld und zur Messung der Gasplasmadichte eingesetzt

 

Laserstrahl-Wellenfronterkennung

Optische Messung der planaren Oberflächenform

 

 

Beispiel für die Messung der Waferoberflächenrauheit

 

Beispiel für die Messung eines rekonstruierten Wellenfrontdiagramms

 

Optischer Pfad zur Messung der Gasplasmadichte

 

 

BOJIONG Ultra-Hochgeschwindigkeits-Wellenfrontsensor Details

 

Der BOJIONG-Ultrahochgeschwindigkeits-Wellenfrontsensor wurde von einem Team von Professoren der Zhejiang-Universität und der Nanyang Technological University in Singapur mit inländischer patentierter Technologie entwickelt und kombiniert Beugung und Interferenz, um eine gemeinsame Vierwellen-Transversalscherinterferenz mit überlegener Erkennungsempfindlichkeit und Anti-Differenz zu erreichen -Vibrationsleistung und kann dynamische Echtzeit- und Hochgeschwindigkeitsinterferometrie ohne Vibrationsisolierung realisieren. Die Echtzeitmessung zeigt eine Bildrate von mehr als 10 Bildern. Gleichzeitig verfügt der FIS4-Sensor über eine ultrahohe Phasenauflösung von 512 x 512 (260.000 Phasenpunkte), das Messband deckt 200 nm bis 15 μm ab, die Messempfindlichkeit erreicht 2 nm und die Messwiederholgenauigkeit ist besser als 1/1000 λ ( RMS). Es kann zur Analyse der Laserstrahlqualität, zur Erkennung von Plasmaströmungsfeldern, zur Echtzeitmessung der Verteilung von Hochgeschwindigkeitsströmungsfeldern, zur Bewertung der Bildqualität optischer Systeme, zur mikroskopischen Profilmessung und zur quantitativen Phasenbildgebung biologischer Zellen verwendet werden.

 

FIS4 Technische Parameter jeder Produktserie

 

Produkt

FIS4-UV

FIS4-HR

FIS4-UHR

FIS4-HS

FIS4-Zelle

FIS4-NIR

Wellenlängenbereich

200–450 nm

400–1100 nm

400–1100 nm

400–1100 nm

400–1100 nm

900–1200 nm

Zielgröße mm²

13,3×13,3

7,07×7,07

13,3×13,3

10,24×10,24

7,07×7,07

13,3×13,3

Räumliche Auflösung

26μm

23,6μm

26μm

24,4 μm

23,6μm

26μm

Bildpixel

-

2048×2048

-

-

2048×2048

-

Auflösung der Phasenausgabe

512×512

(262144 Pixel)

300×300 (90000 Pixel)

512×512 (262144 Pixel)

420×420 (176400 Pixel)

300×300 (90000 Pixel)

512×512 (262144 Pixel)

Phasenauflösung

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

Absolute Genauigkeit

10 nmRMS

10 nmRMS

15 nmRMS

10 nmRMS

10 nmRMS

15 nmRMS

Dynamikbereich

90μm

(256 Min.)

110μm

(150 Min.)

162μm

(256 Min.)

132μm

(210 Min.)

110μm

(150 Min.)

270μm

(256 Min.)

Abtastrate

32fps

24fps

45fps

107fps

24fps

45fps

Verarbeitungsgeschwindigkeit in Echtzeit

10Hz

(Komplettlösung)

10Hz

(Komplettlösung)

10Hz

(Komplettlösung)

10Hz

(Volle Auflösung) Unterstützt verzögerte Stapelverarbeitung

10Hz

(Komplettlösung)

10Hz

(Komplettlösung)

Oberflächentyp

USB3.0

HACKEN

USB3.0

HACKEN

HACKEN

USB3.0

Externe Schnittstelle

-

-

-

-

C-Anschluss

-

Größe mm²

70x46,5x68,5

56,5x43x41,5

70x46,5x68,5

56,5x43x41,5

56,5x43x41,5

70x46,5x68,5

Gewicht

ca. 240g

ca. 120g

ca. 240g

ca. 120g

ca. 120g

ca. 240g

 


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