Mit einer Echtzeit-Wellenfrontanalysegeschwindigkeit von bis zu 107 Bildern pro Sekunde übertrifft der ultraschnelle interferometrische Vierwellensensor von BOJIONG die Fähigkeiten herkömmlicher interferometrischer Messtechniken bei weitem und eignet sich daher für schnelle Messungen in dynamischen Umgebungen.
Sein spektraler Empfindlichkeitsbereich umfasst 400 bis 1100 Nanometer, wodurch er sich an verschiedene Lichtquellenbedingungen anpassen und seine Anwendbarkeit in verschiedenen Anwendungsszenarien verbessern kann. Es ist mittlerweile zu einem unverzichtbaren Werkzeug in der industriellen Hochgeschwindigkeitsinspektion, in der nationalen Verteidigungstechnologieforschung und in den Bereichen präziser wissenschaftlicher Forschung geworden.
Produktname |
Ultraschneller interferometrischer Vierwellensensor |
Wellenlängenbereich |
400 nm ~ 1100 nm |
Zielgröße |
10,24 mm × 10,24 mm |
Räumliche Auflösung |
24,4 μm |
Abtastauflösung |
420×420 (176400 Pixel) |
Phasenauflösung |
<2nmRMS |
Absolute Genauigkeit |
10 nmRMS |
Dynamikbereich |
132 μm (210 λ) |
Abtastrate |
107fps |
Verarbeitungsgeschwindigkeit in Echtzeit |
10 Hz (volle Auflösung) |
Oberflächentyp |
Unterstützt verzögerte Stapelverarbeitung |
Abmessungen |
HACKEN |
Gewicht |
56,5 mm × 43 mm × 41,5 mm |
Wellenlängenbereich |
ca. 120g |
◆Ultrahohe Auflösung von 420×420 (176400) Phasenpunkten
◆Sampling-Bildrate bis zu 107 fps
◆Einkanalige Lichtselbstinterferenz, kein Referenzlicht erforderlich
◆Breites Spektrum im 400-nm-1100-nm-Band
◆2 nm RMS hohe Phasenauflösung
◆Extrem starke Antivibrationsleistung, keine Notwendigkeit einer optischen Vibrationsisolierung
◆Genau wie bei der Bildgebung, einfacher und schneller Aufbau des optischen Pfades
◆Unterstützt kollimierte Strahlen und große NA-konvergierte Strahlen
Dieser BOJIONG-Ultrahochgeschwindigkeits-Vierwellen-Interferometersensor wird zur Erkennung der Waferoberflächenrauheit, zur Messung der Mikromorphologie von Silizium- und Glassubstraten, zur aerodynamischen Optik, zum Hochgeschwindigkeitsströmungsfeld und zur Messung der Gasplasmadichte eingesetzt.
Laserstrahl-Wellenfronterkennung |
Optische Messung der planaren Oberflächenform |
Beispiel für die Messung der Waferoberflächenrauheit |
Beispiel für die Messung eines rekonstruierten Wellenfrontdiagramms |
Optischer Pfad zur Messung der Gasplasmadichte |
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Der hochauflösende Vierwellen-Interferometersensor von BOJIONG wurde von einem Team von Professoren der Zhejiang-Universität und der Nanyang Technological University in Singapur mit inländischer patentierter Technologie entwickelt und kombiniert Beugung und Interferenz, um eine gemeinsame Vierwellen-Transversalscherinterferenz mit überlegener Erkennungsempfindlichkeit zu erzielen Antivibrationsleistung und kann Echtzeit- und Hochgeschwindigkeits-Dynamikinterferometrie ohne Vibrationsisolierung realisieren. Die Echtzeitmessung zeigt eine Bildrate von mehr als 10 Bildern.
Gleichzeitig verfügt der FIS4-Sensor über eine ultrahohe Phasenauflösung von 512 x 512 (260.000 Phasenpunkte), das Messband deckt 200 nm bis 15 μm ab, die Messempfindlichkeit erreicht 2 nm und die Messwiederholgenauigkeit ist besser als 1/1000 λ ( RMS). Es kann zur Analyse der Laserstrahlqualität, zur Erkennung von Plasmaströmungsfeldern, zur Echtzeitmessung der Verteilung von Hochgeschwindigkeitsströmungsfeldern, zur Bewertung der Bildqualität optischer Systeme, zur mikroskopischen Profilmessung und zur quantitativen Phasenbildgebung biologischer Zellen verwendet werden.
FIS4 Technische Parameter jeder Produktserie |
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Produkt |
FIS4-UV |
FIS4-HR |
FIS4-UHR |
FIS4-HS |
FIS4-Zelle |
FIS4-NIR |
Wellenlängenbereich |
200–450 nm |
400–1100 nm |
400–1100 nm |
400–1100 nm |
400–1100 nm |
900–1200 nm |
Zielgröße mm² |
13,3×13,3 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
10,24×10,24 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
Räumliche Auflösung |
26μm |
23,6μm |
26μm |
24,4 μm |
23,6μm |
26μm |
Bildpixel |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
Auflösung der Phasenausgabe |
512×512 (262144 Pixel) |
300×300 (90000 Pixel) |
512×512 (262144 Pixel) |
420×420 (176400 Pixel) |
300×300 (90000 Pixel) |
512×512 (262144 Pixel) |
Phasenauflösung |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
Absolute Genauigkeit |
10 nmRMS |
10 nmRMS |
15 nmRMS |
10 nmRMS |
10 nmRMS |
15 nmRMS |
Dynamikbereich |
90μm (256 Min.) |
110μm (150 Min.) |
162μm (256 Min.) |
132μm (210 Min.) |
110μm (150 Min.) |
270 μm (256 Min.) |
Abtastrate |
32fps |
24fps |
45fps |
107fps |
24fps |
45fps |
Verarbeitungsgeschwindigkeit in Echtzeit |
10Hz (Komplettlösung) |
10Hz (Komplettlösung) |
10Hz (Komplettlösung) |
10Hz (Volle Auflösung) Unterstützt verzögerte Stapelverarbeitung |
10Hz (Komplettlösung) |
10Hz (Komplettlösung) |
Oberflächentyp |
USB3.0 |
HACKEN |
USB3.0 |
HACKEN |
HACKEN |
USB3.0 |
Externe Schnittstelle |
- |
- |
- |
- |
C-Anschluss |
- |
Größe mm² |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
Gewicht |
ca. 240g |
ca. 120g |
ca. 240g |
ca. 120g |
ca. 120g |
ca. 240g |
Adresse
Nr. 578 Yingkou Road, Bezirk Yangpu, Shanghai, China
Tel