Der interferometrische Ultraviolett-Vierwellensensor nutzt unsere proprietäre Technologie der Vierwellenbeugung mit randomisierter Codierung und ermöglicht eine Interferenz in der hinteren Brennebene mit minimalen Anforderungen an die Kohärenz der Lichtquelle, sodass keine Phasenverschiebung erforderlich ist. Durch das Ultraviolett-Bildgebungssystem ist der Sensor in der Lage, Wellenfrontmessungen in Echtzeit durchzuführen, weist eine hervorragende Vibrationsfestigkeit und -stabilität auf und kann Präzisionsmessungen im Nanometerbereich auch ohne Verwendung einer Vibrationsisolierung erzielen. BOJIONG Optoelectronics ist bereit, die Standards für die Messung und Analyse der optischen Leistung neu zu definieren und die Branche in eine neue Ära der Präzision und Effizienz zu führen.
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Produktname |
Ultravioletter Vierwellen-Interferometrischer Sensor |
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Wellenlängenbereich |
200 nm ~ 450 nm |
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Zielgröße |
13,3 mm × 13,3 mm |
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Räumliche Auflösung |
26μm |
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Abtastauflösung |
512×512 (262144 Pixel) |
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Phasenauflösung |
<2nmRMS |
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Absolute Genauigkeit |
10 nmRMS |
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Dynamikbereich |
90 μm (256 Min.) |
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Abtastrate |
32fps |
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Verarbeitungsgeschwindigkeit in Echtzeit |
10 Hz (volle Auflösung) |
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Oberflächentyp |
USB3.0 |
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Abmessungen |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
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Gewicht |
ca. 240g |
◆UV-Spektrum 200 nm ~ 450 nm Band
◆Ultrahohe Auflösung von 512×512 (262144) Phasenpunkten
◆Einkanalige Lichtselbstinterferenz, kein Referenzlicht erforderlich
◆2 nm RMS hohe Phasenauflösung
◆Extrem starke Antivibrationsleistung, keine Notwendigkeit einer optischen Vibrationsisolierung
◆Genau wie bei der Bildgebung, einfacher und schneller Aufbau des optischen Pfades
◆Unterstützt kollimierte Strahlen und nicht kollimierte Strahlen mit hoher NA
Dieser BOJIONG-Ultraviolett-Vierwellen-Interferometriesensor wird für die Aberrationsmessung optischer Systeme, die Kalibrierung optischer Systeme, die Messung flacher (Wafer-)Oberflächenformen, die Messung optischer sphärischer Oberflächenformen usw. verwendet.
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Laserstrahl-Wellenfronterkennung |
Wellenfronterkennungsreaktion des Zernike-Modus der adaptiven Optik |
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Beispiel für die Aberrationsmessung eines optischen Systems |
Beispiele für Kalibrierungsmessungen optischer Systeme |
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Beispiel für die Messung der Waferoberflächenrauheit |
Messung der Mikroätzmorphologie – Defektprobe 1 # -114 Linien |
Der BOJIONG-Ultraviolett-Vierwellen-Interferometriesensor wurde von einem Team von Professoren der Zhejiang-Universität und der Nanyang Technological University in Singapur entwickelt. Mit inländischer patentierter Technologie kombiniert er Beugung und Interferenz, um eine gemeinsame Vierwellen-Transversalscherinterferenz mit überlegener Erkennungsempfindlichkeit und Anti zu erreichen -Vibrationsleistung und kann dynamische Echtzeit- und Hochgeschwindigkeitsinterferometrie ohne Vibrationsisolierung realisieren. Die Echtzeitmessung zeigt eine Bildrate von mehr als 10 Bildern. Gleichzeitig verfügt der FIS4-Sensor über eine ultrahohe Phasenauflösung von 512 x 512 (260.000 Phasenpunkte), das Messband deckt 200 nm bis 15 μm ab, die Messempfindlichkeit erreicht 2 nm und die Messwiederholgenauigkeit ist besser als 1/1000 λ ( RMS). Es kann zur Analyse der Laserstrahlqualität, zur Erkennung von Plasmaströmungsfeldern, zur Echtzeitmessung der Verteilung von Hochgeschwindigkeitsströmungsfeldern, zur Bewertung der Bildqualität optischer Systeme, zur mikroskopischen Profilmessung und zur quantitativen Phasenbildgebung biologischer Zellen verwendet werden.
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FIS4 Technische Parameter jeder Produktserie |
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Produkt |
FIS4-UV |
FIS4-HR |
FIS4-UHR |
FIS4-HS |
FIS4-Zelle |
FIS4-NIR |
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Wellenlängenbereich |
200–450 nm |
400–1100 nm |
400–1100 nm |
400–1100 nm |
400–1100 nm |
900–1200 nm |
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Zielgröße mm² |
13,3×13,3 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
10,24×10,24 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
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Räumliche Auflösung |
26μm |
23,6μm |
26μm |
24,4 μm |
23,6μm |
26μm |
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Bildpixel |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
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Auflösung der Phasenausgabe |
512×512 (262144 Pixel) |
300×300 (90000 Pixel) |
512×512 (262144 Pixel) |
420×420 (176400 Pixel) |
300×300 (90000 Pixel) |
512×512 (262144 Pixel) |
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Phasenauflösung |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
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Absolute Genauigkeit |
10 nmRMS |
10 nmRMS |
15 nmRMS |
10 nmRMS |
10 nmRMS |
15 nmRMS |
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Dynamikbereich |
90μm (256 Min.) |
110μm (150 Min.) |
162μm (256 Min.) |
132μm (210 Min.) |
110μm (150 Min.) |
270μm (256 Min.) |
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Abtastrate |
32fps |
24fps |
45fps |
107fps |
24fps |
45fps |
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Verarbeitungsgeschwindigkeit in Echtzeit |
10Hz (Komplettlösung) |
10Hz (Komplettlösung) |
10Hz (Komplettlösung) |
10Hz (Volle Auflösung) Unterstützt verzögerte Stapelverarbeitung |
10Hz (Komplettlösung) |
10Hz (Komplettlösung) |
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Oberflächentyp |
USB3.0 |
HACKEN |
USB3.0 |
HACKEN |
HACKEN |
USB3.0 |
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Externe Schnittstelle |
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C-Anschluss |
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Größe mm² |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
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Gewicht |
ca. 240g |
ca. 120g |
ca. 240g |
ca. 120g |
ca. 120g |
ca. 240g |
Adresse
Nr. 578 Yingkou Road, Bezirk Yangpu, Shanghai, China
Tel
