Für große Testkomponenten wie Siliziumwafer und Saphirwafer bietet der AOI1000 Oberflächendefektdetektor für optische Komponenten eine Erkennungsauflösung von bis zu 0,5 Mikrometern und eine maximale Inspektionsöffnung von 1000 mm x 600 mm. Das Gerät ist in der Lage, automatisch Berichte zu erstellen, mit Berichtsformaten wie dem US-Militärstandard MIL-PRF-13830A/B und dem internationalen Standard ISO 10110-7.
|
Produktname |
AOI1000 Oberflächendefektdetektor für optische Komponenten |
|
Maximale Erkennungsgröße |
1000mmX600mm |
|
Erkennungsauflösung |
0,5 μm |
|
Erkennungsmethode |
Dunkelfeld-Array-Scanning-Bildgebung |
|
Ausgabeberichte |
Nationale Standards, US-Militärstandards und maßgeschneiderte Unternehmensberichte. |
Der AOI1000-Oberflächenfehlerdetektor für optische Komponenten nutzt Bildverarbeitungstechnologie, um eine automatisierte, schnelle und hochpräzise Erkennung von Oberflächenfehlern auf Komponenten wie Siliziumwafern und Saphirwafern zu erreichen und so die Probleme der geringen Effizienz und mangelnden Genauigkeit bei der visuellen Inspektion effektiv anzugehen . Die höchste Erkennungsauflösung kann 0,5 Mikrometer erreichen und die maximale Erkennungsöffnung kann bis zu 1000 mm x 600 mm betragen. Die Bildgebungstechnologie umfasst ringförmige Beleuchtung und Mikrostreu-Dunkelfeld-Bildgebung. Das Gerät ist in der Lage, automatisch Berichte in verschiedenen Formaten zu erstellen, darunter dem US-Militärstandard MIL-PRF-13830A/B und dem internationalen Standard ISO 10110-7.
Geeignet für die Qualitätskontrolle von Oberflächenfehlern in optischen Komponenten, optischen Fensterwafern, Siliziumwafern, Saphirwafern usw.
Beschichtungsfehler: Delaminierung, Beschädigung der Beschichtung usw.
Polierfehler: Kratzer, Vertiefungen, Absplitterungen, Blasen, Schmutz usw.
Dieses Gerät kann die folgenden Arten von Fehlern bewältigen:
◆ Mehrstrahlige ringförmige Beleuchtung
◆ Bildgebung mit variabler Vergrößerung und Optionen für hohe und niedrige Vergrößerung
◆ Erkennungsgenauigkeit von 0,5 μm
◆ Erkennung von Multi-Wafern auf der gesamten Platte
◆ Linearmotor für schnelle Bildgebung
◆ Ausgestattet mit einer FFU (Fan Filter Unit), um die interne Sauberkeit sicherzustellen
Mehrstrahlige ringförmige Bildbeleuchtung
Automatisches Zoommikroskop von 1X bis 8X.
Einstellbare Schnellspannung für die gesamte Platte.
Hochpräzise 2D-Linearmotoren sorgen für die Genauigkeit schneller Aufnahmen.
Tabellenausgabe nach Militärstandard
Anzeige der Testergebnisse
Kratzer auf der Beschichtungsoberfläche.
Kratzer
Laserschadenstelle 1
Laserschadenstelle 2
Nanoskaliger Partikelpunkt
Faser
Komponentenzerfließen
Beschädigung der Membranschicht
|
AOI450 Detektor für Oberflächenfehler optischer Komponenten. AOI1000 Detektor für Oberflächenfehler optischer Komponenten |
|
|
Artikel |
Beschreibung |
|
Modell |
AOI1000 |
|
Gerätefunktion |
Quantitative Defekterkennung für planare optische Komponenten mit ultraglatter Oberfläche und Ausgabe elektronischer Berichte gemäß den Erkennungsergebnissen wie US-Militärstandard, Nationalstandard und Internationalstandard. |
|
Maximale Erkennungsgröße |
1000mmX600mm |
|
Erkennungspräzision |
Geringe Vergrößerung 5 μm, hohe Vergrößerung 0,5 μm |
|
Spannmethode |
Klemmung ganzer Platten oder einzelner Teile, Unterstützung der Klemmung von quadratischen und runden Teilen. |
|
Nivelliermethode |
Vollständiges Plattenmaterial unterstützt automatische Fokussierung, elektrische Nivellierung. |
|
Bildgebende Methode |
Ringförmige Beleuchtung, Mikrostreu-Dunkelfeld-Bildgebung, gemäß der „Quantitative Detection Method for Surface Defects of Optical Components – Micro-Scatter Dark Field Imaging Method“, beschrieben in der nationalen Norm GB/T 41805-2022. |
|
Erkennungsmethode |
Scan-Stitching mit geringer Vergrößerung, Positionierungsquantifizierung mit hoher Vergrößerung. |
|
Scanmechanismus |
2D-Linearmotor, Hub 150 mm × 150 mm. |
|
Kameraparameter |
Große Zielkamera, 5 Millionen Pixel. |
|
Berichtsformat |
Excel-, Word-Format, US-Militärstandard, nationaler Standard, internationaler Standard oder statistischer Unternehmensbericht. |
|
Industrie-PC-Konfig |
i7-Prozessor, 32 GB Speicher, 1T-Festplatte, 6 GB Videospeicher. |
|
Geräteabmessungen |
900 mm × 800 mm × 2000 mm (L × B × H) |
|
Stromversorgungsspannung |
220 V ± 10 % |
Adresse
Nr. 578 Yingkou Road, Bezirk Yangpu, Shanghai, China
Tel
