Der Oberflächendefektdetektor AOI150 für optische Komponenten hat eine Erkennungsauflösung von bis zu 0,5 Mikrometern und eine maximale Inspektionsöffnung von 150 mm x 150 mm. Das Gerät ist in der Lage, automatisch Berichte zu erstellen, deren Berichtsformate den US-Militärstandard MIL-PRF-13830A/B und den internationalen Standard ISO10110-7 umfassen.
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Produktname |
Zer AOI150 Oberflächendefektdetektor für optische Komponenten |
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Maximale Erkennungsgröße |
150 mm x 150 mm |
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Erkennungsauflösung |
0,5 μm |
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Erkennungsmethode |
Dunkelfeld-Array-Scanning-Bildgebung |
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Ausgabeberichte |
Nationale Standards, US-Militärstandards und maßgeschneiderte Unternehmensberichte. |
Der AOI150-Detektor für optische Komponentenoberflächenfehler nutzt Bildverarbeitungstechnologie, um eine automatisierte, schnelle und hochpräzise Erkennung von Fehlern auf Glas- und Metalloberflächen zu erreichen und so die Probleme geringer Effizienz und schlechter Genauigkeit bei der visuellen Inspektion effektiv zu lösen. Die höchste Erkennungsauflösung kann 0,5 μm erreichen und die maximale Erkennungsöffnung kann bis zu 150 mm x 150 mm betragen. Die Bildgebung nutzt ringförmige Beleuchtung und Mikrostreu-Dunkelfeld-Bildgebung. Das Gerät kann automatisch Berichte ausgeben, mit Berichtsformaten wie dem US-Militärstandard MIL-PRF-13830A/B und dem internationalen Standard ISO 10110-7.
Geeignet für die Qualitätskontrolle von Oberflächenfehlern in optischen Komponenten, optischen Fensterwafern, Siliziumwafern, Saphirwafern usw.
Dieses Gerät kann die folgenden Arten von Fehlern bewältigen:
Polierfehler: Kratzer, Vertiefungen, Absplitterungen, Blasen, Schmutz usw.
Beschichtungsfehler: Delaminierung, Beschädigung der Beschichtung usw.
◆ Mehrstrahlige ringförmige Beleuchtung
◆ Bildgebung mit variabler Vergrößerung und Optionen für hohe und niedrige Vergrößerung
◆ Erkennungsgenauigkeit von 0,5 μm
◆ Erkennung von Multi-Wafern auf der gesamten Platte
◆ Linearmotor für schnelle Bildgebung
◆ Ausgestattet mit einer FFU (Fan Filter Unit), um die interne Sauberkeit sicherzustellen
Mehrstrahlige ringförmige Bildbeleuchtung
Automatisches Zoommikroskop von 1X bis 8X.
Einstellbare Schnellspannung für die gesamte Platte.
Hochpräzise 2D-Linearmotoren sorgen für die Genauigkeit schneller Aufnahmen.
Tabellenausgabe nach Militärstandard
Anzeige der Testergebnisse
Kratzer auf der Beschichtungsoberfläche.
Kratzer
Laserschadenstelle 1
Laserschadenstelle 2
Nanoskaliger Partikelpunkt
Faser
Komponentenzerfließen
Beschädigung der Membranschicht
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AOI150 Oberflächendefektdetektor für optische Komponenten |
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Artikel |
Beschreibung |
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Modell |
AOI150 |
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Gerätefunktion |
Quantitative Defekterkennung für planare optische Komponenten mit ultraglatter Oberfläche und Ausgabe elektronischer Berichte gemäß den Erkennungsergebnissen wie US-Militärstandard, Nationalstandard und Internationalstandard. |
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Maximale Erkennungsgröße |
150 mm × 150 mm |
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Erkennungspräzision |
Geringe Vergrößerung 5 μm, hohe Vergrößerung 0,5 μm |
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Spannmethode |
Klemmung ganzer Platten oder einzelner Teile, Unterstützung der Klemmung von quadratischen und runden Teilen. |
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Nivelliermethode |
Vollständiges Plattenmaterial unterstützt automatische Fokussierung, elektrische Nivellierung. |
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Bildgebende Methode |
Ringförmige Beleuchtung, Mikrostreu-Dunkelfeld-Bildgebung, gemäß der „Quantitative Detection Method for Surface Defects of Optical Components – Micro-Scatter Dark Field Imaging Method“, beschrieben in der nationalen Norm GB/T 41805-2022. |
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Erkennungsmethode |
Scan-Stitching mit geringer Vergrößerung, Positionierungsquantifizierung mit hoher Vergrößerung. |
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Scanmechanismus |
2D-Linearmotor, Hub 150 mm × 150 mm. |
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Kameraparameter |
Große Zielkamera, 5 Millionen Pixel. |
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Berichtsformat |
Excel-, Word-Format, US-Militärstandard, nationaler Standard, internationaler Standard oder statistischer Unternehmensbericht. |
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Industrie-PC-Konfig |
i7-Prozessor, 32 GB Speicher, 1T-Festplatte, 6 GB Videospeicher. |
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Geräteabmessungen |
900 mm × 800 mm × 2000 mm (L × B × H) |
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Stromversorgungsspannung |
220 V ± 10 % |
Adresse
Nr. 578 Yingkou Road, Bezirk Yangpu, Shanghai, China
Tel
