Im Zentrum des FIS4-UV-Wellenfrontsensors liegt die bahnbrechende randomisierte Coding-Vierwellen-Beugungstechnologie von Bojiong. Diese Pioniertechnologie ermöglicht Störungen in der hinteren Fokusebene auch mit minimaler Lichtquellenkohärenz, wodurch die Einschränkungen der Lichtquellenkohärenz signifikant reduziert und die Anforderungen an die Phasenverschiebung effektiv beseitigt werden. Der FIS4-UV-Wellenfrontsensor integriert in ein fortschrittliches ultraviolettes Bildgebungssystem und bietet Echtzeit-Wellenfront-Messfunktionen und weist einen außergewöhnlichen Vibrationswiderstand und Robustheit auf. Eindrucksvoll erreicht es auch ohne Vibrations-Isolationssysteme eine Präzision im Nanometerbereich. Diese Fähigkeit eröffnet neue Möglichkeiten für hochpräzise Messungen in vielfältigen und anspruchsvollen Umgebungen. Bojiong Optoelectronics soll die optische Leistungsmessung und -analyse revolutionieren und die Branche zu einer beispiellosen Ära der Präzision und Effizienz führen. Durch die Festlegung neuer Benchmarks für Genauigkeit und operative Leichtigkeit ermöglicht der FIS4 UV Wavefront -Sensor Forscher und Branchen, die Grenzen der optischen Innovation zu überschreiten.
Lichtquellentyp |
Continuous Laser , Pulslaser , LED, Halogenlampe und andere Breitbandlichtquellen |
Wellenlängenbereich |
200nm ~ 400 nm |
Zielgröße |
13,3 mm × 13,3 mm |
Räumliche Auflösung |
26 m m |
Phasenausgangsauflösung |
512 × 512 |
Absolute Genauigkeit |
10nmrms |
Phasenauflösung |
≤ 2nmrms |
Dynamikbereich |
≥90 μm |
Stichprobenrate |
32fps |
Echtzeit-Verarbeitungsgeschwindigkeit |
5Hz (bei voller Auflösung) |
Schnittstellentyp |
USB3.0 |
Dimension |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
Gewicht |
ungefähr240g |
Kältemethode |
keiner |
◆ UV -Spektrum 200 nm ~ 400 nm Band
◆ 2nm RMS hohe Phasenauflösung
◆ 100% im Inland entwickelt
◆ Selbstinterferenz mit einem Pfadenlicht, kein Referenzlicht erforderlich
◆ extrem starker Schwingungswiderstand, keine optische Vibrationsisolation erforderlich
◆ Mit Laser -Interferenz -Randunterdrückungsdesign
U
Dieser BOJIONG FIS4 UV -Wellenfrontsensor, der für optische Aberrationsmessung, Kalibrierung des optischen Systems, flache (Wafer-) Oberflächenformmessung, optische kugelförmige Oberflächenformmessung usw. verwendet wird, usw.
Laserstrahlwellenfronterkennung |
Wellenfront -Erkennungsantwort des adaptiven Optik -Zernike -Modus |
Beispiel für die Aberration Messung des optischen Systems
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Beispiele für optische Systemkalibrierungsmessungen
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Beispiel für die Messung der Waferoberflächenrauheit
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Messung der Mikroetching -Morphologie - Defekt Probe 1 # -114 Linien |
Der Bojiong FIS4 UV Wavefront -Sensor wurde von einem Team von Professoren der Zhejiang University und der Nanyang Technological University in Singapur entwickelt. Es hat eine ultrahohe Auflösung von 512 × 512 (262144) Phasenpunkten und kann eine hohe Präzisionswellenfrontmessung in der 200 nm bis 400 nm Bande erreichen. Es kann zur optischen Systemaberrationsmessung, zur optischen Systemkalibrierung, der Ebene (Wafer) der Oberflächenmessung, der optischen kugelförmigen Oberflächenmessung usw. verwendet werden.
FIS4 UV kombiniert die patentierte zufällige Coded-Vier-Wellen-Beugungstechnologie mit der UV-Kamera und stört die Position der hinteren Bildebene. Es hat niedrige Anforderungen an die Kohärenz von Lichtquellen und erfordert keine Phasenverschiebung. Es kann eine Echtzeit-Wellenfrontmessung mit dem UV-Bildgebungssystem erreichen. Es hat ultrahohe Schwingungswiderstand und ultrahohe Stabilität und kann ohne Vibrationsisolierung eine Präzisionsmessung auf NM-Ebene erreichen.
Adresse
Nr. 578 Yingkou Road, Bezirk Yangpu, Shanghai, China
Tel /