Der BOJIONG UV-Wellenfrontsensor 200–450 nm integriert die patentierte Zufallscodierungs-Vierwellenbeugungstechnologie mit einer Ultraviolettkamera, um Interferenzen auf der hinteren Bildebene durchzuführen, was eine geringe Kohärenz der Lichtquelle erfordert und die Notwendigkeit einer Phasenverschiebung eliminiert. Mithilfe des Ultraviolett-Bildgebungssystems ermöglicht dieser Sensor eine Wellenfrontmessung in Echtzeit mit außergewöhnlicher Vibrationsfestigkeit und Stabilität und erreicht Präzision im Nanometerbereich, ohne dass eine Vibrationsisolierung erforderlich ist.
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Produktname |
UV-Wellenfrontsensor 200-450 nm |
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Wellenlängenbereich |
200 nm ~ 450 nm |
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Zielgröße |
13,3 mm × 13,3 mm |
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Räumliche Auflösung |
26μm |
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Abtastauflösung |
512×512 (262144 Pixel) |
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Phasenauflösung |
<2nmRMS |
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Absolute Genauigkeit |
10 nmRMS |
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Dynamikbereich |
90 μm (256 Min.) |
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Abtastrate |
32fps |
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Verarbeitungsgeschwindigkeit in Echtzeit |
10 Hz (volle Auflösung) |
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Schnittstellentyp |
USB3.0 |
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Dimension |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
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Gewicht |
ca. 240g |
◆UV-Spektrum 200 nm bis 450 nm Band
◆Ultrahohe Auflösung von 512×512 (262144) Phasenpunkten
◆Einkanalige Lichtselbstinterferenz, kein Referenzlicht erforderlich
◆2 nm RMS hohe Phasenauflösung
◆Extrem starke Antivibrationsleistung, keine Notwendigkeit einer optischen Vibrationsisolierung
◆Genau wie bei der Bildgebung, einfacher und schneller Aufbau des optischen Pfades
◆Unterstützt kollimierte Strahlen und nicht kollimierte Strahlen mit hoher NA
Dieser BOJIONG-Ultraviolett-Vierwellen-Interferometriesensor wird für die Aberrationsmessung optischer Systeme, die Kalibrierung optischer Systeme, die Messung flacher (Wafer-)Oberflächenformen, die Messung optischer sphärischer Oberflächenformen usw. verwendet.
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Laserstrahl-Wellenfronterkennung |
Wellenfronterkennungsreaktion des Zernike-Modus der adaptiven Optik |
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Beispiel für die Aberrationsmessung eines optischen Systems |
Beispiele für Kalibrierungsmessungen optischer Systeme |
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Beispiel für die Messung der Waferoberflächenrauheit |
Messung der Mikroätzmorphologie – Defektprobe 1 # -114 Linien |
Der BOJIONG UV-Wellenfrontsensor 200–450 nm, der von einem Team von Professoren der Zhejiang-Universität und der Nanyang Technological University in Singapur entwickelt wurde, nutzt eine inländische patentierte Technologie, die Beugung und Interferenz kombiniert, um eine Vierwellen-Transversalscherinterferenz zu erreichen. Dieser Sensor zeichnet sich durch eine hervorragende Erkennungsempfindlichkeit und Antivibrationsleistung aus und ermöglicht dynamische Hochgeschwindigkeitsinterferometrie in Echtzeit ohne Vibrationsisolierung mit einer Bildrate von über 10 Bildern pro Sekunde. Der FIS4-Sensor bietet eine ultrahohe Phasenauflösung von 512 x 512 (260.000 Phasenpunkte), einen Messbereich von 200 nm bis 15 μm, eine Messempfindlichkeit von 2 nm und eine Messwiederholgenauigkeit von besser als 1/1000 λ (RMS). Es eignet sich für die Analyse der Laserstrahlqualität, die Erkennung von Plasmaströmungsfeldern, die Echtzeitmessung der Verteilung von Hochgeschwindigkeitsströmungsfeldern, die Bewertung der Bildqualität optischer Systeme, die Messung mikroskopischer Profile und die quantitative Phasenbildgebung biologischer Zellen.
Adresse
Nr. 578 Yingkou Road, Bezirk Yangpu, Shanghai, China
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