Vertikales dynamisches Vierwellen-Interferometer

Das vertikale Vierwellen-Dynamikinterferometer LPI-100 ist in der Lage, dynamische Echtzeitmessungen mit einer Rate von bis zu 15 Bildern pro Sekunde durchzuführen. Es ermittelt präzise die Oberflächenforminformationen planarer optischer Elemente innerhalb einer 100-mm-Apertur durch gemeinsame Vierwellen-Pfadscherung Technologie und Interferenzmusterdemodulation. Das Interferometer ist benutzerfreundlich, schnell einsatzbereit, zuverlässig im Betrieb und hochpräzise in der Messung. Es bietet zuverlässige Datenunterstützung für Unternehmen der optischen Verarbeitung, akademische Einrichtungen, Messabteilungen, Forscher in wissenschaftlichen Organisationen und Fachleute, die wissenschaftliche Arbeiten verfassen, und macht es zu einem unschätzbar wertvollen Werkzeug bei ihrer Arbeit.

Artikelspezifikation

Merkmal des vertikalen Vierwellen-Dynamikinterferometers von BOJIONG

◆Bis zu 15 Bilder dynamischer Echtzeitmessung

◆2 nm RMS Hohe Phasenauflösung

◆Superhohe Auflösung von 262144 Phasenpunkten

◆Basierend auf dem Prinzip der Selbstinterferenz des gemeinsamen Kanals benötigt das Gerät keinen Referenzspiegel und verfügt über eine starke Widerstandsfähigkeit. In der normalen Fabrikumgebung kann auch eine genaue Erkennung flacher Oberflächen erreicht werden

◆Kann eine dynamische Erkennung in Echtzeit realisieren und eine dynamische Erkennung von 15 Bildern/Sekunde erreichen

◆Mit unabhängigen Rechten an geistigem Eigentum, kostengünstig, einfache Anpassung, kompakte Struktur

 Anwendung des vertikalen Vierwellen-Dynamikinterferometers von BOJIONG

Dieses vertikale Vierwellen-Dynamikinterferometer von BOJIONG ist mit interferometrischen FIS4-Vierwellensensoren ausgestattet und in der Lage, die Form von standardmäßigen Planspiegeln genau zu erkennen. Das zugehörige Softwareverarbeitungssystem gibt die PV-, RMS- und POWER-Werte der Oberfläche des getesteten Bauteils aus.

Details zum vertikalen dynamischen Vierwellen-Interferometer von BOJIONG

Gesamtlayoutdiagramm des BOJIONG Planar Four-Wave Dynamic Interferometer

Das vertikale Vierwellen-Dynamikinterferometer von BOJIONG besteht aus mehreren wichtigen Funktionsmodulen, darunter einem Beleuchtungslichtquellenmodul, einem Sekundärstrahlaufweitungsmodul, einem Trägermodul, einem Punktfokussierungsmodul zur Probenausrichtung und einem interferometrischen Sensormodul zur Erkennung der Oberfläche Form der Proben.

Das Lichtquellenmodul des Systems nutzt einen Helium-Neon-Gaslaser mit einer zentralen Wellenlänge von 632,8 nm und stellt eine präzise und stabile Lichtquelle für das Interferometer bereit.

Das Sekundärstrahlaufweitungsmodul ist darauf ausgelegt, den Strahldurchmesser auf 100 mm zu vergrößern und so die Kompatibilität mit optischen Komponenten mit großem Durchmesser zu gewährleisten, die einer Inspektion bedürfen.

Der Bühnenbereich dient als Plattform für die Platzierung verschiedener planarer optischer Komponenten im Test, wie z. B. flache Kristalle, Single-Throw-Wafer, Fensterchips und planare Reflektoren. Der Tisch ist mit X- und Y-Achsen-Handrädern ausgestattet, um die Position der Probe präzise zu steuern und sicherzustellen, dass der von der Ausrüstung emittierte Lichtfleck die Oberfläche der Testprobe vollständig bedeckt. Darüber hinaus sind zwei Einstellknöpfe in den Tisch integriert, um die Neigung der Probe fein abzustimmen und die Testebene senkrecht zur optischen Achse auszurichten.

Das Bildgebungssystem verfügt über ein Dual-Kamera-Setup. Bei einer Kamera handelt es sich um eine optische Bildkamera, die das Punktfokussierungsmodul bildet und bei der Ausrichtung der Probe hilft. Durch Beobachtung der Echtzeitposition des Rückkehrpunkts der Probe kann die Probe angepasst werden, um die Genauigkeit der Messung sicherzustellen. Der andere Kamerapfad ist mit dem interferometrischen Vierwellensensor FIS4 ausgestattet, der das interferometrische Sensormodul zur Erkennung der Oberflächenform der Probe darstellt. Durch die Erfassung interferometrischer Streifen mit gemeinsamem Pfad liefert es in Echtzeit ein dreidimensionales Feedback zur Oberflächentopographie der Testprobe. Das Doppelkamerasystem ist in der Lage, gleichzeitig zu arbeiten, was die Effizienz und Genauigkeit des Messprozesses erhöht.

Professionelles Softwaremodul

◆Das Gerät ist mit einer speziellen Software ausgestattet, die für das „Vertical Four-wave Dynamic Interferometer“ entwickelt wurde und 3D-Bilder der Oberfläche des gemessenen optischen Elements in Echtzeit anzeigen und ausgeben sowie PV-, RMS- und POWER-Werte dafür bereitstellen kann gemessene Oberfläche.

◆Darüber hinaus verfügt die Software über die Möglichkeit, Rohmessdaten zu exportieren, was wichtige quantitative Analyseunterstützung für eine Vielzahl von Forschungsvorhaben bietet und Benutzern die einfache Durchführung nachfolgender Datenanalysen und Forschungsarbeiten ermöglicht.